電子真空儲(chǔ)存柜,半導(dǎo)體真空存儲(chǔ)箱主要用于儲(chǔ)存光學(xué)零件、半導(dǎo)體元器件、金屬材料、精密機(jī)械、電子零件、化工產(chǎn)品、化工原料、稀土材料、藍(lán)景膜、厭氧材料、易氧化材料及不便于冷藏的珍貴食品,肉食蔬菜果品及中西藥品以及易潮濕的衣物床上用品等。
HAST可靠性試驗(yàn)機(jī),高加速壽命試驗(yàn)箱被廣泛應(yīng)用于國(guó)防、航天、汽車部件、電子零配件、塑膠、制藥等行業(yè)相關(guān)之產(chǎn)品作加速壽命試驗(yàn)。當(dāng)HAST試驗(yàn)應(yīng)用于產(chǎn)品的設(shè)計(jì)階段時(shí),可以快速暴露產(chǎn)品的缺陷和薄弱環(huán)節(jié),特別是線路板,多層線路板,IC半導(dǎo)體,LCD,磁鐵等產(chǎn)品之密封性能的檢測(cè), 測(cè)試其制品的耐壓性,氣密性。
抗粘 劑氣相涂布烘箱,抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻(NIL)應(yīng)用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中硅烷涂膠;以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
均勻性0.5度的恒溫加熱臺(tái),可編程恒溫?zé)岚逵糜诠袒饪棠z,固化環(huán)氧塑脂,可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場(chǎng)合等。適用于半導(dǎo)體光刻工藝的前烘和堅(jiān)膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。
高溫百級(jí)無(wú)氧烘箱,500度厭氧潔凈烤箱用于PI、BCB 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無(wú)塵烘干的特殊工藝要求。