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      無塵烘箱 工業烘箱

      無塵烘箱 工業烘箱

      簡要描述:

      無塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

      無塵烘箱概述

      箱內空氣封閉自循環,經耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾,使烘箱工作室內處于無塵狀態。無塵烤箱工作室為不銹鋼結構。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。

      無塵烘箱用途

      用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

      特點

      1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;
      2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
      3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
      4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到溫度控制精度。

      技術參數

      無塵等級:Class 100;     

      溫度范圍:RT+10~200℃;

      溫度均勻度:±2℃;    

      溫度波動度:±0.5℃(空載)        

      溫控精度:±0.1℃;        

      工作室尺寸:自定義(mm)         

      電源:380v , 50Hz,   

      網板:2塊(高度可調節)

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