晶圓烘箱，晶圓制程烤箱

晶圓烘箱，晶圓制程烤箱用途:
  晶圓烘箱，晶圓制程烤箱烤箱用于晶圓、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點：
在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到高精度溫度控制精度。

技術參數：

 無塵等級：Class 100;     

 溫度范圍：RT+10～200、300℃；
 溫度均勻度：±2℃;    

 溫度波動度：±0.5℃（空載）；        
 溫控精度：±0.1℃;

 進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;  

 排風口： φ3”排風管;

 工作室尺寸：W1500×D1000×H1400（mm）；可選擇      

 電源：380v , 50Hz，15KW；   

 網板：5層；  

 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

控制器：彩色觸摸屏；

顯示器：3.5英寸TFT彩色LCD顯示器；

輸出方式：PID控制輸出；

運行方式：程序方式、定值方式；

耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)

過濾效率：≥99.99%;

完善的安全保護措施：

     漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置（上限220℃）、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 反向保護裝置、內襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門面安全開關。