電子真空儲存柜，半導體真空存儲箱-烘箱設備

電子真空儲存柜，半導體真空存儲箱應用

    半導體、半導體巴條、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產(chǎn)品、易氧化產(chǎn)品等生產(chǎn)制造領域，這些電子產(chǎn)品如何長期保存、以及生產(chǎn)過程中如果有效保存，是一項關鍵工藝。常規(guī)在大氣下保存，由于溫度、濕度、潔凈度等因素的原因，會對電子器件質量造成較大影響。

     主要用于儲存光學零件、半導體元器件、金屬材料、精密機械、電子零件、化工產(chǎn)品、化工原料、稀土材料、藍景膜、厭氧材料、易氧化材料及不便于冷藏的珍貴食品，肉食蔬菜果品及中西藥品以及易潮濕的衣物床上用品等。

電子真空儲存柜，半導體真空存儲箱性能

內尺寸：400mm×400mm×300mm（寬×深×高），多尺寸定制

箱數(shù)：1-12箱體，多開門，獨立控制

材質： 內箱采用SUS304不銹鋼，內表面鏡面拋光，外箱采用優(yōu)質冷軋板靜電噴塑，或不銹鋼

溫度： 無需溫度監(jiān)控及控制，可定制高溫

真空度 ：≤10pa,數(shù)字顯示（單箱指標）

抽速： 從1atm-10Pa時間≤3min（單箱指標）

電源及功率： AC 220V±10% / 50HZ       總功率約0.8KW    

操做界面： 彩色觸摸屏界面，集成式控制，位于箱體上方

分層數(shù) ：二層（單箱指標）

真空泵： 渦旋干泵

腔門密封圈： 采用耐高溫硅橡膠密封圈，密封圈采用一體成型無縫加工

氮氣控制： 可調式轉子氮氣流量計

安保裝置： 安全的接地保護裝置

電子真空儲存柜的結構：

真空儲存柜主要由3部分組成：真空系統(tǒng)、測量系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。

1、真空系統(tǒng)包括真空管道與腔體、真空泵、真空閥、真空計等，為產(chǎn)品器件提供真空存儲環(huán)境；

2、測量系統(tǒng)：包括真空度測量、溫度測量以及濕度測量；

3、控制系統(tǒng)：根據(jù)參數(shù)設置要求，自動控制儲存室的排氣、放氣動作。

操作系統(tǒng)：

針對不同的功能，系統(tǒng)界面共設“自動操作界面"、“手動操作界面"、“數(shù)據(jù)查詢界面"、“參數(shù)設置界面"、“產(chǎn)品信息界面"。您可在控制界面上通過點擊界面切換按鈕進入另一操作界面。

自動操作界面：

此界面為默認進入的主界面，可實現(xiàn)“排氣"、“放氣"、“照明"，以及界面切換等功能。

手動操作界面：

此界面可在手動模式下，單獨實現(xiàn)對泵及各閥門的操作，方便日常維護。

數(shù)據(jù)查詢界面：

包含“真空數(shù)據(jù)查詢"、“溫度數(shù)據(jù)查詢"