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      真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)

      真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)

      簡要描述:

      真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中,通入N2→真空置換后,采用多級升溫保溫的方式,在規定的時間從室溫升至第一溫度階段,并在該溫度段保溫1-2h,再在規定的時間從第一溫度升至第二溫度階段,并在該溫度段保溫一定的時間;隨后增通過輔助的降溫系統(水冷和風冷),將退火爐的溫度降至80度左右,完成固化。

      真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱由真空泵、真空組件、真空測量等組成;數顯真空控制器,顯示腔內相對壓強并可根據工藝要求控制壓力值。

      真空無氧烤箱是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中,通入N2→真空置換后,采用多級升溫保溫的方式,在規定的時間從室溫升至第一溫度階段,并在該溫度段保溫1-2h,再在規定的時間從第一溫度升至第二溫度階段,并在該溫度段保溫一定的時間;隨后增通過輔助的降溫系統(水冷和風冷),將退火爐的溫度降至80度左右,完成固化。

      溫度范圍: 120~ 400/500℃;
      溫度波動度:≤±1

      升溫速度:0-10℃/min;
      降溫方式:水冷降溫

      氮氣控制:電磁閥+可調試流量計控制
      氧含量檢測:氧濃度檢測儀,氧含量可達20ppm

      工作腔尺寸(mm):

      W350×H350×D350

      W500×H500×D600

      W600×H600×D600

      可定制

      真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)溫控系統:
      操作界面:人機界面+PLC,可一鍵運行,多個工藝編輯;
      溫度測量:K型熱偶;

      控制儀表:高精度溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃,可程式觸摸屏控制器可選擇
      超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統,保證試驗品的安全;
      控制系統:主要電器件均采用施耐德、正泰等品牌元氣件;


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      上海雋思實驗儀器有限公司主要經營優質的真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)等,歡迎來電咨詢真空無氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)詳細資料等信息
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