HMDS預處理系統(tǒng)在超薄鈮酸鋰材料的應用

     鈮酸鋰具有出色的光電特性，作為一種集成光子平臺，受到廣泛關注。在此基礎上，各種功能光子器件，如電光調制器和非線性波長轉換器，已經展現(xiàn)出令人矚目的性能。與此同時，基于鈮酸鋰薄膜的激光器和放大器作為集成光子系統(tǒng)的重要組成部分，也取得了一系列令人振奮的突破和進展。

  鈮酸鋰材料將YL 未來片上集成光路的變革。隨著全球經濟數(shù)字化浪潮的推動，智慧城市和數(shù)據(jù)中心的建設與光子芯片的研發(fā)和生產密切相關。鈮酸鋰材料可用于制備集成激光器、放大器、變頻器、電光調制器、光電探測器等關鍵光子器件，促進了光通信、激光雷達、粒子傳感、信息處理等領域的快速發(fā)展。未來，更多類型的高集成、多功能LNOI芯片將走向產業(yè)化，片上集成光路領域也將迎來數(shù)字經濟時代的新發(fā)展機遇。"

HMDS預處理系統(tǒng)

將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、碳化硅、玻璃、藍寶石、鍍金晶圓等材料表面后，經系統(tǒng)加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結合，起著偶聯(lián)劑的作用。

智能型HMDS預處理系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）技術性能：

內尺寸：300×300×300，450×450×450，550×550×550（mm）（可定制）

溫度范圍：RT+50-200℃

真空度：≤1torr

控制方式：人機界面，一鍵運行

真空泵：無油渦旋真空泵

智能型HMDS預處理系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）特點：

HMDS藥液泄漏報警提示功能

HMDS低液位報警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

藥液管道預熱功能

程序鎖定保護等功能