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后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱所使用的高溫(100-130°C)會(huì)使光敏化合物擴(kuò)散,從而消除駐波波紋.百級(jí)潔凈度無塵化,專用于半導(dǎo)體,集成電路。
水冷無氧化烘箱,高溫?zé)o氧烘箱升溫方式:程序線性升溫 降溫方式:風(fēng)冷+水冷輔助降溫 氧含量:氧含量≤20ppm
真空無氧烤箱,無氧化真空烘箱用于光刻膠BCB,聚酰亞胺PI/CPI固化,BPO固化,LCP纖維熱處理,
前烘氮?dú)夂嫦洌埠鏉崈艉嫦鋬?yōu)化光刻膠的光學(xué)吸收特性,提高光刻膠對(duì)襯底的黏附性
外延片烘箱,氮?dú)鉂崈艉嫦溲悠瑢⑺鐾庋悠湃牒嫦渲?在120℃~140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10~30分鐘