全國統一熱線:
傳真(FAX):86-021-60649603
郵編(P.C):201417
E-mail:junsish@163.com
地址:上海奉賢柘林工業區3213號
墨點烘箱,墨點氮氣烘箱是半導體行業,芯片加工工藝流程中打墨點工藝后,將硅片放入烘箱進行墨點烘干專用設備。
堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。
無氧固化爐,高溫無氧化固化烤箱應用半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。
雙腔無氧烤箱,兩箱無氧烘箱單腔內尺寸:W450×D450×H450,上下層兩個腔體,可定制其他尺寸,多腔體
鈮酸鋰無氧化烘箱用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質固化,LCP材料熱處理、鍵合材料預處理,FOWLP扇出封裝,ITO膜/鋁/銅退火,PBO膠固化等特殊工藝。
PI固化高溫烘箱,聚酰亞胺厭氧烤箱用于半導體/三代半導體/新材料/新能源等行業。BCB、PI、CPI、PBO膠固化,LCP新材料、鋰電池等產品熱處理
PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱用于光刻膠BCB,聚酰亞胺CPI固化,LCP纖維熱處理、晶圓干燥烘烤等工藝