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      上海HMDS烘箱報價

      上海HMDS烘箱報價

      簡要描述:

      上海HMDS烘箱報價預處理性能更好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。

      一、上海HMDS烘箱報價技術參數

      電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

      輸入功率:2000W

      控溫范圍:RT+20℃-160℃

      溫度分辨率:0.1℃

      溫度波動度:±0.5℃

      達到真空度:-100kPa(1torr)

      工作室尺寸(mm):450*450*450(可定做)

      有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設定,一鍵完成作業。

      上海HMDS烘箱報價加熱模塊

          由于工藝的整個過程都需要在150左右的環境下進行,所以自始至終加熱

      都在工作

          本系統采用在腔內分布兩塊獨立的熱板來實現加熱,每個熱板都采用人工智

      能PID調節儀實現閉環控制,調節儀控制固態繼電器的輸出從而實現溫度的精確

      穩定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100

      真空模塊

         由機械泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的

      HMDS蒸汽

      充氮模塊

         作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而zui終替換空氣

      或藥液蒸汽的氣氛

         主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成

      控制模塊

          控制模塊是本系統的核心模塊,它的作用是控制各個模塊的動作和時序,完

      成整個工藝過程

          它主要由人機界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報警等5部分組

        人機界面采用φ100mm松下觸摸屏來實現參數、狀態等界面的顯示和參數的設

      定輸入。PLC采用松下的FP0系列小型化PLC

       

       

       

       

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