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      HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預處理烘箱

      HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預處理烘箱

      簡要描述:

      HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預處理烘箱通過對烘箱 HMDS 預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間 等參數的編輯,可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS,降低了 HMDS 處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量, 提高光刻膠與硅片的黏附性。

      HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預處理烘箱的原理:

       

        JS-HMDS烘箱箱通過對烘箱 HMDS 預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的編輯,可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS,降低了 HMDS 處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量, 提高光刻膠與硅片的黏附性。

       

      HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預處理烘箱的一般工作流程:

       

          首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真牢度達到某 一高真空度后,開始充人氮氣,充到達到某低真空度后,冉次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充 入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入 HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入 HMDS 藥液,進入保持階段,使硅片充分與 HMDS 反應。當達到設定的保 持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業過程。HMDS 與硅片反應機理如圖:首先加熱到 100℃ -200℃,去除硅片表面的水分,然后 HMDS 與表面的 OH 一反應,在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使 極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進一步反應。

       

      尾氣排放等:多余的 HMDS 蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到廢氣收集管道。在無廢氣收集 管道時需做專門處理。

      ⑴ 產品出廠前都經過嚴格的測試,一般不要進行修正,如使用時的環境惡劣,環境溫度超出適宜范圍,會引 起溫度顯示值與箱內實際溫度誤差,如超出技術指標范圍的,可以修正,具體步驟參照溫度控制器操作說明按所需進行修正。

       

      ⑵ 儀器在正常工作狀態下,如打開箱門時間過長,關上箱門后暫時箱內溫度有些變動,這是正常現象。

      的用途

      在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻 的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥 基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會 侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕 容易發生側向腐蝕。增黏劑 HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將 HMDS 涂到硅片 表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水, 其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

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