抗黏劑蒸鍍機 抗粘劑涂膠機 硅烷氣相鍍膜機通過精確控制烘箱溫度（100-200℃）、處理時長及保持時間等參數，使氮烷（HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三氯硅烷）沉積在襯底表面，生成疏水性的保護層，，將親水基片轉化為疏水性。該過程有效增大處理后的基片接觸角，減少光刻膠使用量約30%，同時提升膠層與基片的黏附強度?。

抗粘劑蒸鍍機 硅烷鍍膜機 氣相沉積系統 硅烷偶聯劑（HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三濾硅烷等）作為一類重要的有機硅化合物，在材料表面改性、復合材料增強、涂層制備等眾多領域有著廣泛應用。

疏水處理設備 疏水性處理系統 HMDS預處理是一種改善物體表面性質的技術，使其具有疏水性，即不易被液體濕潤。

表面疏水性處理設備 陶瓷玻璃疏水處理機通過氣相涂布硅烷偶聯劑HMDS實現陶瓷表面疏水性能的提高，陶瓷表面接觸角為118?135度，且疏水材料與陶瓷基體的的附著性能好。

納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統生產工藝周期短，提高生產效率； 修飾液用量極少，節約成本90%； 閉環的工藝過程，安全系數高。

可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱 用于光刻膠粘合的 HMDS 氣相沉積 晶圓基底脫水烘烤

HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預處理的工藝，將晶圓表面親水性的置換為疏水性的，使晶圓表面接觸角達到65或更高。