HMDS pretreatment system, HMDS oven reducing the contact angle of the silicon wafer after HMDS treatment The amount of photoresist to improve the adhesion of photoresist and silicon.

silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、預處理性能更好 2、處理更加均勻 3、效率高 4、更加節省藥液 5、更加環保和安全 6、低液報警裝置 7、可自動吸取HMDS功能 8、可自動添加HMDS功能 9、HMDS藥液泄漏報警功能 10、HMDS緊急疏散功能 11、數據記錄打印功能

HMDS鍍膜烤箱，HMDS真空鍍膜系統預處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達4盒的晶片；更加節省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能；，有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設定，一鍵完成作業。

智能型HMDS烤箱定做，不銹鋼HMDS烘箱預處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達4盒的晶片；更加節省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能；，有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設定，一鍵完成作業。

智能型HMDS烘箱，全自動HMDS預處理系統預處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達4盒的晶片；更加節省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能；，有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設定，一鍵完成作業。

藍寶石增粘烘箱， HMDS烘箱將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。

HMDS烘箱原理，2-12寸晶圓預處理烘箱通過對烘箱 HMDS 預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間 等參數的編輯，可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了 HMDS 處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量， 提高光刻膠與硅片的黏附性。